亚微米PZT阵列制备及铁电性能研究

• 作者: 张卫华 徐国敏 蒋百灵 赵卫 赵高扬 邓小翠
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 化学
• 关键词: 锆钛酸铅 铁电薄膜 感光性 电滞回线
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 字数: 2532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2007.01.001

摘要

采用感光溶胶-凝胶法,在ITO/石英基板上制备了具有紫外感光性的PZT前驱溶胶及凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,采用He-Cd紫外激光双光束干涉和二次曝光工艺,结合有机溶剂溶洗和600℃,15 min热处理,制备了点阵周期为1 μm,阵列格点尺寸为480 nm×480 nm×40 nm的PZT薄膜阵列.并将原子力显微镜(AFM)和铁电测试仪联用,采用具有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维图像.据此图像,把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针将测试信号反馈给铁电仪,以获得格点的电滞回线.结果表明,亚微米量级的PZT阵点随外电场的变化可以实现极化反转,表现出明显的铁电特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
3	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
4	赵卫	中国科学院西安光学精密机械研究所	130	1414	20.0	30.0
5	邓小翠	西安理工大学材料科学与工程学院	4	6	2.0	2.0
6	徐国敏	西安理工大学材料科学与工程学院	4	6	2.0	2.0