一种便携式TiO2薄膜乙醇气敏传感器的研制

• 作者: 何平 潘国峰 赵红东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏传感器 TiO2薄膜 电阻测量 选择性
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1471-1474
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6|TP216
• 字数: 2648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.07.005

摘要

研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜,薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后,得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2,其最佳工作温度为270℃左右,响应时间2 s,恢复时间3 s.测量电路采用以ARM7为核的LPC2131微控制器实时监测电源电压,自动调整占空比,从而实现对加热温度的精确控制.通过测量敏感薄膜的电阻,并与乙醇气体浓度进行校准,最终显示被测气体的浓度.整个传感器采用低功耗设计,具备报警功能,同时提供了一个友好的用户界面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
2	何平	河北工业大学计算机科学与软件学院	21	216	7.0	14.0
3	赵红东	河北工业大学信息工程学院	88	427	10.0	17.0