PLD法制备纳米氧化锌薄膜

• 作者: 姚合宝 石念宝 陈素果
• 来源期刊: 西北大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米氧化锌 制备 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 数理科学与信息科学
• 页码范围: 366-370
• 页数: 5页
• 分类号: O48.4
• 字数: 3985字
• 语种: 中文

摘要

目的 研究制备高质量的纳米ZnO薄膜的最佳方案.方法 通过反应条件和工艺参数的控制,用PLD法制备纳米氧化锌薄膜,对所制备的纳米氧化锌薄膜进行XRD谱研究,采用原子显微镜观察其形貌并研究氧化锌薄膜的各种光学性质.结果 在激光脉冲能量为150 mJ、氧气压为20Pa条件下制备出了高质量的c轴择优取向的纳米氧化锌薄膜.结论 制备工艺参数的控制对其性质有着极其重要的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚合宝	西北大学物理学系	54	228	8.0	11.0
2	陈素果	西北大学物理学系	5	32	3.0	5.0
6	石念宝	西北大学物理学系	3	12	2.0	3.0