浸渍-提拉法制备WO3薄膜的气敏性能研究

• 作者: 杨俊梅 桑海军 毕淑娟
• 来源期刊: 沈阳航空工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: WO3薄膜 浸渍-提拉法 气敏性能
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 基础科学
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: TG146.4
• 字数: 1334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1248.2007.02.023

摘要

采用溶胶-凝胶方法制备WO3前驱液,利用浸渍-提拉法使其成膜.通过XRD分析了不同热处理温度对WO3晶体结构的影响,通过SEM图观察了不同提拉次数的WO3薄膜形貌.所得WO3薄膜的微观结构和气敏性能随提拉次数不同而有很大差异,提拉1次、2次的样品薄膜不连续,电阻过大,灵敏度无法测量;提拉3次成膜的样品电阻稳定,气敏性能最好,对NO2有很高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	桑海军		10	19	3.0	3.0
2	杨俊梅		2	3	1.0	1.0
3	毕淑娟	中国科学院金属研究所	3	11	2.0	3.0