ZrO2、SiO2改性对Al2O3薄膜的影响

• 作者: 任书霞 王黔平 田秀淑
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 改性 AL2O3薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174

摘要

Al2O3薄膜的应用近年受到很大的关注，它在过滤和分离等领域内具有极大的应用前景，但就其本身而言，仍存在一些不足之处。本文用Sol-Gel法制备了掺杂ZrO2、SiO2的改性Al2O3薄膜，并通过SEM、XRD等方法进行了表征。实验表明，掺杂后能提高Al2O3薄膜的化学稳定性和延缓烧结过程中的相变，使薄膜的性能得到提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王黔平	河北理工大学料科学与工程学院	45	245	9.0	14.0
2	田秀淑	石家庄铁道学院材料科学与工程学院	18	80	5.0	7.0
3	任书霞	中国矿业大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0