Si基光子晶体的制备与器件应用

• 作者: 尚勇 彭英才
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: Si基光子晶体 制备方法 Si基光子器件 Si基光子集成
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 235-240,253
• 页数: 7页
• 分类号: O782
• 字数: 6002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.05.004

摘要

光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料.本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结构纳米晶粒镶嵌法等;概要介绍了Si基光子晶体在Si基发光器件和Si基光波导器件中的应用.对目前存在的问题进行了讨论,并展望了它的未来发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0
2	尚勇	河北大学物理科学与技术学院	16	40	4.0	6.0