电容器薄膜等离子体表面改性实验研究

• 作者: 严飞 尹婷 戴玲 林福昌 王磊 韩永霞
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 表面处理 薄膜 电容器 聚丙烯 聚酯 聚苯硫醚
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 1399-1403
• 页数: 5页
• 分类号: TM213
• 字数: 3896字
• 语种: 中文

摘要

建立了一套辉光放电等离子体对电容器薄膜进行表面处理的装置.采用N2,O2及Ar三种气体对聚丙烯、聚酯和聚苯硫醚膜进行了表面处理.红外光谱分析表明:薄膜表面的生成物与薄膜种类、气体种类和处理强度密切相关.场扫描电镜显示了薄膜表面的刻蚀现象明显.处理过的薄膜,非晶相被去除,球晶暴露.能谱分析说明了薄膜中C元素下降,N,O元素增加,但总体改变量很小.处理前后薄膜的直流击穿电压没有明显改变,但刻蚀过程造成的薄膜表面粗化可帮助电容器的浸渍过程更充分,从而可提高电容器的使用场强与储能密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴玲	华中科技大学电气与电子工程学院	27	253	10.0	15.0
2	林福昌	华中科技大学电气与电子工程学院	87	1184	16.0	32.0
3	尹婷	华中科技大学电气与电子工程学院	4	3	1.0	1.0
4	严飞	华中科技大学电气与电子工程学院	9	48	5.0	6.0
5	王磊	华中科技大学电气与电子工程学院	75	684	15.0	23.0
6	韩永霞	华中科技大学电气与电子工程学院	2	7	1.0	2.0