氮化铝薄膜的光学性质

• 作者: 刘文 刘毅 卫静婷 唐伟群 杨清斗 王质武
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化铝 石英衬底 折射率 吸收系数 透射光谱
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 616-618,623
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2007.05.017

摘要

采用直流磁控溅射法在石英衬底上制备了氮化铝(AlN)薄膜.用X射线衍射仪分析了薄膜结构.利用椭圆偏振仪和紫外/可见/近红外分光光度计对AIN薄膜进行了相关光学性能的研究,获得到了薄膜的折射率随波长的色散关系曲线.在波长为250～1 000 nm,薄膜的折射率为1.87～2.20.结合透射光谱图,分析了AIN薄膜的光学性质.结果表明:利用磁控溅射方法可以获得(100)择优取向AIN薄膜;AIN薄膜在200～300 nm远紫外光范围内具有强烈的吸收,在300～1000 nm波长范围内具有良好的透过率.透射光谱图计算得到的薄膜厚度(427nm)与椭圆偏振拟合得到的薄膜厚度(425nm)一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘毅	深圳大学师范学院	32	83	6.0	8.0
2	唐伟群	深圳大学光电子学研究所	1	10	1.0	1.0