超精密研磨技术的现状及发展趋势

• 作者: 方海生 胡涤新 袁巨龙 邓乾发
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: 研磨技术 超精密 Nanopoli-100智能型研磨抛光机 发展动向
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 综述·专论
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TG580
• 字数: 4236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2007.04.003

摘要

概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的Nanopoli-100智能型纳米级抛光机,结合该领域的最新研究成果,提出了其向高精度、高效率发展的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
2	方海生	浙江工业大学超精密加工研究中心	2	35	2.0	2.0
6	胡涤新	浙江工业大学超精密加工研究中心	1	24	1.0	1.0
7	邓乾发	浙江工业大学超精密加工研究中心	29	152	7.0	10.0