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摘要:
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基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计
功率器件
沟槽型功率器件
掩膜板
工艺仿真
利用掩膜主动轮廓模型提取水库水面面积
北京一号小卫星
掩膜主动轮廓模型
密云水库
水面面积提取
膜盒式贮箱金属膜盒疲劳寿命预测与试验
疲劳寿命
预测
金属膜盒
膜盒式贮箱
含缺陷管道剩余强度和剩余寿命的研究
腐蚀缺陷
剩余强度
剩余寿命
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 掩膜版寿命受到雾状缺陷的限制Ⅰ
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 36
页数 1页 分类号
字数 1259字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.04.011
五维指标
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
论文1v1指导