微细光成型固化工艺参数优化

• 作者: 王翔 赵钢 马德盛 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 微细光成型 光固化 工艺优化
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 453-459
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.04.003

摘要

为了分析紫外光对液态光敏树脂进行曝光固化成型过程中工艺参数对固化物的形状和精度的影响,根据自行研制的实验系统的大量数据,对线形固化中的主要工艺参数进行了分析和优化.结果表明,在单层液态树脂膜厚30μm,曝光光束功率0.15 μW,扫描速度15μm/s以及工作距650μm时能够得到具有较高精度线宽和线高的固化直线段,利用优化的工艺参数,成功实现了三维微小实体结构的成型制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵钢	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	28	121	7.0	9.0
2	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
3	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
4	马德盛	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	6	45	3.0	6.0