DMD系统的环形光栅的设计和制作

• 作者: 吴华明 孙智华 洪月辉
• 来源期刊: 九江学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微镜系统(DMD) 环形光栅 二元光学
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 计算机科学与信息技术
• 页码范围: 16-17,29
• 页数: 3页
• 分类号: TP35
• 字数: 646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4580.2007.03.005

摘要

本文讨论了基于数字微镜系统(DMD)的环形光栅的设计和制作方法.利用DMD系统,我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅,为使其集成到微光机电系统提供了一种可能.通过实验,我们获得了最大外半径为42.7μm的环形光栅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙智华	浙江工业大学信息工程学院	1	0	0.0	0.0
2	洪月辉	浙江工业大学信息工程学院	1	0	0.0	0.0
3	吴华明	华中科技大学光电国家实验室	1	0	0.0	0.0