CdTe薄膜太阳电池的硝酸-磷酸腐蚀及应用

• 作者: 冯良桓 张静全 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 郝瑞英 雷智 黎兵
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀 背接触 CdTe薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 395-398
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2007.02.039

摘要

采用硝酸-磷酸腐蚀CdTe薄膜,研究了硝酸-磷酸腐蚀速率、浓度、时间对薄膜的结构、形貌、组分的影响,获得腐蚀的最佳工艺条件.在腐蚀后,沉积了缓冲层材料和(或)金属背电极,研究了腐蚀后背接触的形成及碲对CdTe太阳电池的影响.结果表明,腐蚀后生成的碲有助于产生p+层,实现CdTe与金属背电极的欧姆接触.