基于像差修正的同轴度测量方法

• 作者: 仓玉萍 吴国俊 吴玲玲 闫亚东 陈良益
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光准直 接收物镜 光线追迹 平行偏差(平偏) 倾斜偏差(角偏)
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1712-1720
• 页数: 9页
• 分类号: TH741|TN247
• 字数: 4054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.11.013

摘要

为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统.该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成.以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量的计算;并通过对系统像差的分析,提出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1.6 cm的系统,平偏测量精度可达0.02 mm,角偏测量精度可达9.5″.因此,该系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要.