几种波片位相延迟测量方法的比较

• 作者: 孙英姿 张志勇 玄伟佳 王东光 邓元勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 应用光学 波片 位相延迟 误差分析
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1678-1685
• 页数: 8页
• 分类号: O436.3
• 字数: 5777字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.11.008

摘要

建立了用于波片位相延迟测量的高精度多功能测试系统,实现了在同一测试系统上应用不同的测试方法,使测试具有可比性.对光谱扫描法、Soleil补偿器法及两种光强法进行了比较测量,并结合测试结果对各种方法进行了系统的误差分析.分析结果表明,对本测试系统而言,光谱扫描法适于测量λ/2波片,测量精度主要由单色仪的精度所决定,其误差《0.032%;Soleil补偿器法测量精度主要由Soleil补偿器精度决定,其误差《0.18%;光强法误差与待测波片的延迟量有关,且测试光路与偏振器的缺陷对测量精度影响较大.光谱扫描法与Soleil补偿器法测量λ/2波片的结果在误差范围内相符,光强法测量结果产生较大差异的原因来自光路、偏振器及方法本身的缺陷.实验结果为不同条件下选择最佳测量方法提供了参考依据.