高精度微结构聚合物光栅的复制技术

• 作者: 周常河 王伟
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射与光栅 微结构光栅 光栅复制 压印技术
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 1363-1366
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1|TN205
• 字数: 1876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.10.010

摘要

光栅复制是降低光栅制造成本,提高产量的一条有效途径.研究了利用紫外压印技术复制微结构光栅的方法.使用玻璃基底矩形浮雕结构的微结构光栅作为母光栅,给出了利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作光栅模具和在光敏聚合物材料上复制微结构光栅的详细过程.经过优化工艺条件,成功地复制了一系列不同周期和开口比的微结构光栅,测试了复制光栅和母光栅的衍射图像和0级与±1级的衍射强度,结果表明,复制光栅和母光栅的衍射图像与光强分布基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	295	3192	30.0	44.0
5	周常河	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	60	460	13.0	17.0