长春光机所软X射线-极紫外波段光学研究

• 作者: 尼启良 王君林 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 空间光学 软X射线 极紫外
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 2007中德双边高级专家X射线光学研讨会专栏
• 页码范围: 1862-1868
• 页数: 7页
• 分类号: O434.1|O434.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.12.008

摘要

综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展.描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6～22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0.3 mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6 nm(RMS值),表面粗糙度达0.6 nm(RMS值);进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13 nm处反射率为60%的多层膜反射镜,150 mm 口径反射镜的反射率均匀性优于±2.5%;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5～50 nm,光谱分辨率好于0.2 nm,测量重复性好于士1%.在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	167	1116	17.0	24.0
2	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	35	217	8.0	13.0
3	王君林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	17	59	4.0	7.0