基底表面预氧化对SiO2/S复合涂层的影响

• 作者: 刘京雷 周建新 张莉 徐宏 戚学贵
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 常压化学气相沉积 SiO2/S复合涂层 HP40合金 预氧化
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 146-151
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|TG113
• 字数: 4078字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2007.05.033

摘要

为了减缓乙烯裂解炉管内表面的结焦,采用常压化学气相沉积方法,以二甲基二硫(DMDS)和正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,在预氧化的HP40合金试样上制备了SiO2/S复合涂层.分析了沉积温度、气体流速和沉积时间对涂层沉积速率的影响.利用扫描电镜、XPS和Raman光谱分别对涂层的形貌、成分和化学结构进行了表征,并对预氧化试样与涂层的结合进行了实验研究.结果表明,涂层主要由三节环Si-O-Si结构和Si-O-S结构组成,预氧化的试样涂层沉积速率是未氧化试样的2～3倍,试样氧化后涂层的抗热冲击性能和结合强度得到了提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宏	华东理工大学机械与动力工程学院	141	881	15.0	21.0
2	戚学贵	华东理工大学机械与动力工程学院	19	99	6.0	9.0
3	刘京雷	华东理工大学机械与动力工程学院	29	186	8.0	13.0
4	周建新	华东理工大学机械与动力工程学院	13	109	5.0	10.0
5	张莉	华东理工大学机械与动力工程学院	44	279	9.0	14.0