四针状ZnO晶须(T-ZnO)的掺杂及其气敏特性研究

• 作者: 周祚万 李艳霞 王凯
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四针状氧化锌晶须 掺杂 气敏特性
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 994-999
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.21|TN305.1
• 字数: 3968字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.11.005

摘要

采用高温固溶工艺制备了Al3+,Fe3+和Ag+掺杂的T-ZnO气敏材料,并制作了烧结型厚膜气敏元件,测试了元件对H2S,NH3,C2H5OH和H2的敏感特性,研究了掺杂剂、掺杂工艺和材料形貌结构对T-ZnO材料气敏特性的影响规律.结果显示,T-ZnO材料对H2S和C2H5OH气体灵敏度较高,对H2和NH3等气体灵敏度较差;经过H2气氛热处理,掺物质的量百分数为0.1%Al3+的T-ZnO对气体表现出很高的灵敏度,在268.5℃时,对体积分数为10-4的H2S的灵敏度达160;同时,Al3+掺杂工艺改善了材料对H2S和C2H5OH的恢复-响应特性.在Fe3+掺杂ZnO样品中,出现第二相(ZnFe2O4)可以提高对气体的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凯		4	22	4.0	4.0
2	周祚万		13	117	7.0	10.0
3	李艳霞		4	24	4.0	4.0