单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性

• 作者: 朱惠忠 梁吴迪 石志松
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石英微天平分析仪 阵列传感器 液相 扫描 生物传感器
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 400-403
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.125

摘要

研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性.采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性.阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦舍.实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4× 10-6/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石志松	清华大学精密仪器系	3	23	3.0	3.0
5	朱惠忠		6	28	4.0	5.0
6	梁吴迪	清华大学精密仪器系	3	9	2.0	3.0