微传感器压力测量系统

• 作者: 杨世忠 邢丽娟
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 压力 微传感器 电容式 测量
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 64-65
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 1952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.08.026

摘要

压力是应用最为广泛的物理参数之一,压力测量在工业生产中必不可少.在研究微电容传感器的基础上,分析了压力测量的工作原理,提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法,给出适合该种传感器的信号检测电路和压力测量系统组成.实践表明,此设计方法具有较高的准确性和应用推广价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢丽娟	青岛理工大学自动化工程学院	62	271	9.0	14.0
2	杨世忠	青岛理工大学自动化工程学院	76	347	10.0	15.0