微电子专用超纯过氧化氢

• 来源期刊: 试剂与精细化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 过氧化氢 超大规模集成电路芯片 微电子 超纯 延伸产品 火箭推进剂 总有机碳 金属离子
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 页码范围: 20
• 页数: 1页
• 分类号: TQ123.6

摘要

本项目产品中总有机碳小于0．5ppm，阴离子小于10PPb（PPb-10亿分之一），金属离子小于0．1ppb，达到SEMI C12级要求（SEMI-国际半导体标准组织）。经情报所鉴定为国际先进水平。主要应用于超大规模集成电路芯片的蚀刻、清洗等工序。其延伸产品一高浓度过氧化氢应用于现代国防工业中的新型火箭推进剂和激光武器等领域。目前该产品依赖进口。