一种新型光学传感器的理论和实验研究

• 作者: 张乐欣 张冉 李志全
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅光学微腔 传感器 传输矩阵 Bruggeman介电常数近似理论 毛细冷凝
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 光电器件与系统
• 页码范围: 129-133
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.10.026

摘要

当多孔硅处于有机物蒸汽环境时,由于自身的多孔结构和巨大的比表面积,有机物蒸汽分子将迅速地吸附到多孔硅的表面,并在多孔硅的孔内发生毛细冷凝作用,这将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱透射峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与光子晶体传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的理论传感模型.使用光学实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,证明多孔硅微腔可以实现对有机物蒸汽分子种类的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志全	燕山大学电气工程学院	201	1342	17.0	24.0
2	张乐欣	燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室	19	97	6.0	8.0
3	张冉	燕山大学电气工程学院	6	40	4.0	6.0