作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
是用1 310 nm还是用1 550 nm设备
1 310 nm
1 550 nm
光设备
特点和性能
选用原则
激光器线宽虚拟测试系统
虚拟仪器
LabVIEW
线宽
测试系统
EPRI和NEDO运作模式及对我们启示
能源机构
运作模式
启示
固定5G无线宽带会替代有线宽带吗?
无线宽带
5G
有线宽带
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 NEDO成功开发线宽26nm的曝光设备
来源期刊 半导体信息 学科 工学
关键词 线宽 NEDO NM 光刻胶 掩膜 研发小组 性能化 佳能公司 日本新能源 微细加工
年,卷(期) bdtxx_2007,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 38-38
页数 1页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2007(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
线宽
NEDO
NM
光刻胶
掩膜
研发小组
性能化
佳能公司
日本新能源
微细加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
总下载数(次)
11
论文1v1指导