基于激光热应力法的薄膜蠕变性能评估方法

• 作者: 张永康 李粤
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 蠕变 裂纹 应力
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 156-159,147
• 页数: 5页
• 分类号: TG14
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2007.03.039

摘要

采用单脉冲激光在薄膜表面进行局部加载,对薄膜在受热区域、冷热接合部及与基体连接界面产生的热应力、热应变及应力松弛进行理论分析,研究薄膜的蠕变机制和非弹性变形的热力学响应.分析结果表明,薄膜受高温及冷却退火作用都会产生应力松弛;冷却退火还会形成拉应力,薄膜裂纹由拉应力过大引起,薄膜的蠕变性能是薄膜断裂前的热力学行为,由应力的性质和大小决定,用激光热应力法可以实现对薄膜性能的评估.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永康	江苏大学机械工程学院	219	3356	29.0	43.0
2	李粤	南热带农业大学机电与信息工程学院	1	3	1.0	1.0