基于垂直层叠结构的可见/近红外双波段传感器研究

• 作者: 冯华君 徐之海 陈远
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 成像系统 多光谱 可见/近红外 成像传感器 垂直层叠结构
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 1018-1022
• 页数: 5页
• 分类号: TN36
• 字数: 3746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.06.012

摘要

提出了基于垂直层叠结构的双波段传感器,该结构为同时对可见波段和近红外波段进行成像提供了可能.它的基本原理是利用不同波长的光在硅材料中穿透深度的非线性分布,即:短波长的可见光主要在表面被吸收,长波长的近红外光则主要在更深的位置被吸收.通过垂直层叠结构,抽取不同深度的光生载流子,即可以得到相应波段的成像信息.数值仿真分析表明,结构参量为D1=2 μm,D2=18 μm的结构能在400～1200 nm波长范围得到响应峰值波长为550 nm和1000 nm的最佳可见/近红外响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯华君	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	145	2098	25.0	41.0
2	徐之海	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	132	1897	23.0	39.0
3	陈远	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	14	91	5.0	9.0