平台式和斜坡式表面放电辐射源放电特性的比较

• 作者: 于力 华恒祺 安晓霞 易爱平 马连英 黄超
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 表面放电 辐射源 放电特性 放电沉积
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 脉冲动率技术
• 页码范围: 1035-1038
• 页数: 4页
• 分类号: TN245
• 字数: 2204字
• 语种: 中文

摘要

介绍了平台式和斜坡式两种结构的表面放电辐射源,研究了在1.0 μF和1.5 μF储能电容、15～30 kV充电电压等实验条件下两种辐射源的放电特性,并对实验结果进行了比较分析.得到如下结论:对于斜坡式辐射源,增加电极间距可导致放电回路面积增大,因此等效电阻和等效电感也将增加;在相同电压及电容值条件下,斜坡式辐射源的放电电流、平均沉积功率均小于平台式辐射源的相应值,但放电沉积效率略大;电压升高使放电周期、电流达到峰值时间及放电沉积效率呈减小趋势,对于同一种辐射源,使用1.5 μF电容时放电回路参数更加匹配,放电沉积效率得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于力		34	101	6.0	7.0
2	黄超		34	54	4.0	5.0
3	安晓霞		19	35	4.0	4.0
4	马连英		36	88	5.0	7.0
5	易爱平		42	90	5.0	6.0
6	华恒祺		5	7	1.0	2.0