小深孔内径电容式测量方法的研究

• 作者: 于战果 周兴林 郑义忠
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 小深孔 电容探针 传感器标定 驱动电缆
• 年，卷（期）: 2007,（21）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2535-2538
• 页数: 4页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.21.005

摘要

采用电容式深孔内径测量仪测量机械加工过程中小深孔的孔径.该测量仪采用直径较小的电容探针作为传感器,电容探针通过采用驱动电缆技术消除了杂散电容的影响,将孔径的变化转换为电压的线性变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了小深孔内径电容式测量方法的基本原理,设计了电容式深孔内径测量仪测量小深孔孔径系统的总体方案.该方法特别适用于φ1mm～φ7mm深孔的内径自动检测,对3mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5μm,测量分辨率为0.05μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑义忠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0
2	周兴林		65	259	9.0	12.0
3	于战果	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	46	3.0	3.0