真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

• 作者: 刘文一 朱国强 杨涓 毛根旺
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体诊断技术 等离子体基本过程 等离子体基本特性
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 366-370
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 2767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.01.060

摘要

为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2-6 Pa、等离子体发生器以60W以下的微波功率击穿流量范围是42-106 mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016-7.2×1016/m3范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛根旺	西北工业大学航天学院	97	648	12.0	19.0
2	杨涓	西北工业大学航天学院	79	471	10.0	17.0
3	朱国强	西北工业大学航天学院	10	28	3.0	4.0
4	刘文一	西北工业大学航天学院	2	14	2.0	2.0