微米级电化学加工关键技术研究

• 作者: 张朝阳 曲宁松 朱荻 王明环
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电化学加工 超短脉冲电源 工具电极 加工间隙
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 403-406
• 页数: 4页
• 分类号: TG662
• 字数: 3223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.04.007

摘要

针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工.基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了加工过程的稳定性,增强了定域蚀除能力.在低浓度酸性电解液中实现了微米级的电化学加工,利用研制的纳秒脉冲电源,根据加工电流将极间间隙控制在5μm左右,加工出了"NUAA"字形,每个字母高90μm,宽60μm,字母线条的宽度只有20μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曲宁松		95	905	19.0	24.0
3	张朝阳		16	559	13.0	16.0
4	王明环		15	519	11.0	15.0