电化学微加工技术的新进展及关键技术

• 作者: 任莹晖 周志雄 张璧 罗红平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学微加工 材料去除 复杂三维微结构 微细工具电极
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 1505-1511
• 页数: 7页
• 分类号: TG662
• 字数: 7813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.12.028

摘要

将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点.从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件.从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志雄		113	1471	19.0	34.0
2	任莹晖		19	311	8.0	17.0
3	罗红平		5	118	4.0	5.0