半导体桥等离子体温度的原子发射光谱法测量

• 作者: 叶家海 周彬 张文超 张琳 王文 田桂蓉 秦志春
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 半导体桥 等离子体 温度测量 原子发射光谱
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 313-316
• 页数: 4页
• 分类号: O536|O657
• 字数: 1581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2008.02.013

摘要

半导体桥生成的等离子体由于温度高、尺度小、持续时间短等特点,对其温度的瞬态测量是个难题.本文采用高速数字存贮示波器应用原子发射光谱双谱线法对半导体桥等离子体温度进行了实时瞬态测量,并对在22μF电容下不同充电电压对半导体桥等离子体温度的影响进行了系统的研究,得到了22μF电容下等离子体最高温度与充电电压的关系式Tmax=700.6+115.2U.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张琳	南京理工大学化工学院	67	748	13.0	25.0
2	周彬	南京理工大学化工学院	53	505	12.0	20.0
3	秦志春	南京理工大学化工学院	46	482	12.0	20.0
4	田桂蓉	南京理工大学化工学院	18	181	7.0	13.0
5	张文超	南京理工大学化工学院	25	152	8.0	11.0
6	叶家海	南京理工大学化工学院	16	77	5.0	8.0
7	王文	南京理工大学化工学院	6	22	3.0	4.0