扫描近场光学显微镜中探针样品间距控制方法

• 作者: 吴世法 王昭
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 动态原子力显微镜 近场扫描光学显微镜 间距控制 控制模式 扫描速度 分辨率
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 662-667
• 页数: 6页
• 分类号: TH742
• 字数: 3993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.11.008

摘要

在动态原子力与近场光学扫描显微镜中,探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这两个最重要参数的性能.在对几种主要的动态原子力/扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距控制模式分析的基础上,认为提高探针Q值是提高扫描显微镜分辨率的有效方法.但是,对采用检测控制探针振幅模式,期望在提高分辨率的同时加快扫描成像速度是不可实现的,因而限制了其发展的空间.而在检测控制探针频率模式下,提高探针Q值,可有效提高扫描探针显微镜的分辨率,且不会制约扫描成像速度的提高.该结论为将来的纳米操作和纳米超高密度光存储的实用化提供了可能,对大连理工大学近场光学与纳米技术研究所研制的原子力与光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)的改进和产业化具有积极意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴世法	大连理工大学近场光学与纳米技术研究所	41	336	10.0	17.0
2	王昭	大连理工大学近场光学与纳米技术研究所	7	24	3.0	4.0