基于FBG的新型加速度计研究

• 作者: 冯丽爽 刘惠兰 张春熹 滕莉 王广龙
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤布拉格光栅 加速度计 悬臂粱 有限元分析
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 450-453
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2152字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.021

摘要

设计了一种新型的差动式光纤布拉格光栅(Fiber Bragg grating,FBG)加速度计,论述了其传感结构的设计原理、理论分析和有限元仿真.文中设计的主梁与微梁相结合的差动结构形式,克服了传统悬臂梁结构FBG加速度计存在的固有频率与灵敏度相互制约的矛盾,提高了固有频率和灵敏度.同时,为了解决单悬臂梁结构加速度计存在的温度补偿问题,设计了差动式光学检测系统,使该加速度计的灵敏度较传统单悬臂梁结构提高了一倍.理论分析结果表明,该加速度计灵敏度可达到52.7 pm/gn,固有频率250 Hz.实验结果表明,该结构提高了加速度计的灵敏度,有效解决了FBG加速度计应变和温度交叉敏感问题,实验结果与仿真数据具有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张春熹	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	298	2497	25.0	33.0
2	冯丽爽	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	85	462	12.0	19.0
3	刘惠兰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	156	6.0	12.0
4	王广龙	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	6	39	3.0	6.0
5	滕莉	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	31	1.0	2.0