平板显示器中ITO透明电极制备的研究

• 作者: 姚亮 张永爱 郭太良 雷晓阳
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 平板显示器 ITO透明电极 湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.004

摘要

利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌.比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和ReCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响.最后指出在25士2℃的环境下,刻蚀液HCl、H20和FeCl3·6H2O的配比满足3 L:1 L:(20～30 g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1 nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所	302	1102	15.0	21.0
2	张永爱	福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所	57	199	8.0	11.0
3	姚亮	福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所	7	48	4.0	6.0
4	雷晓阳	福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所	2	12	2.0	2.0