基于Modbus-TCP的晶体生长控制技术的研究

• 作者: 代峰燕 林立 纪文刚
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: Modbus-TCP 晶体生长 模糊PID
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 科研论坛
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0682.2008.05.001

摘要

晶体生长系统存在着时滞和非线性,系统的稳定控制非常困难.采用模糊PID控制,根据不同的偏差绝对值和偏差变化绝对值在线自整定参数KP,KI,KD.为确保生长程式的集中发布和准确执行,系统采用基于Modbus-TCP的可编程控制器,将生长工艺发送至生产设备.数据表明晶体生长稳定,等颈误差小于±0.2 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪文刚		55	213	8.0	12.0
3	代峰燕		30	285	9.0	16.0
4	林立		31	240	8.0	15.0