三维金属MEMS器件电化学制造技术

• 作者: 王晓霞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学制造技术 微机电系统 实时掩模 三维微结构 分层技术
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 174-178
• 页数: 5页
• 分类号: TQ150.1
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.03.011

摘要

EFAB技术是微加工领域一项重大的突破,开辟了MEMS金属器件加工的新天地,与其他微加工技术相比,EFAB技术的主要优点是:可实现MEMS中复杂三维金属微结构器件快速、自动化、批量制造.基于快速原型思想,EFAB利用实时掩模技术将金属材料层层叠加起来.可以加工任意形状的金属三维微结构.介绍了EFAB技术原理,并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进行了剖析,最后给出了应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓霞		23	34	3.0	5.0