一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术

• 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 三维实体 版图 接口
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 80-84,98
• 页数: 6页
• 分类号: TH166
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.01.020

摘要

研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C+ +语言开发了相应的转换接口.通过典型MEMS器件--微机械加速度计和微机械陀螺的多种结构,验证了三维实体到二维版图转换的可行性与效率.结果表明,这种转换方法切实可行,且效率较高,为实现MEMS自顶向下与基于任意流程的设计方法、简化版图绘制、提高设计效率提供了一种有效的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政		70	351	10.0	14.0
2	常洪龙		25	112	6.0	10.0
3	谢建兵		6	23	4.0	4.0
4	徐景辉		1	6	1.0	1.0