一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法

• 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 三维实体 版图 接口
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1333-1336
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.006

摘要

研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件--微机械加速度计进行了验证,结果表明这种转换方法是切实可行的.