基于版图和工艺的MEMS器件三维结构生成算法

• 作者: 李伟华 邓伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 三维结构 工艺流程 工艺解释 算法
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1344-1347,1353
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 2192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.009

摘要

设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二维版图文件预处理,加载器件工艺流程后,程序实现相关参数选择后并存储.给定了工艺步骤的搭配关系,进行工艺解释后,进行三维实体绘制输出.编程实现的可执行文件可对多种MEMS器件进行正确的三维描述,从而验证了该三维生成的方法.