基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺

• 作者: 池积光 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 塑性变形 自对准 梳齿驱动 非平面驱动
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 663-668
• 页数: 6页
• 分类号: TM304
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.019

摘要

研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块.最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	池积光	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0