功能材料与器件学报2008年出版文献-钛学术文献服务平台

文献导航

检索期刊

出版文献量（篇）

1638

总下载数（次）

总被引数（次）

10162

功能材料与器件学报

投稿

Journal of Functional Materials and Devices

CA JST CSTPCD

本刊于1995年创刊，是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用，以及功能器件的原理、工艺和性能等等，具体可以包括下列领域：微电子机械系统（MEMS）微电子和光电子材料与器件... 更多

主办单位：

中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会

期刊荣誉：

中国学术期刊综合评价数据库来源期刊 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊 美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊

ISSN：

1007-4252

CN：

31-1708/TB

出版周期：

双月刊

邮编：

200050

地址：

上海市长宁路865号

出版文献量（篇）

1638

总下载数（次）

总被引数（次）

10162

文章浏览

热门刊内文献

年度刊次

1. 以CuCl纳米棒薄膜为前驱体制备CuS纳米/微米管和CuO纳米/微米晶薄膜

作者：张博徐爽李国栋王科技王群

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 1-4

摘要：在本文中,以由氯化亚铜纳米棒组成的薄膜为前驱体,分别通过气-固相的硫化和氧化反应获得了由直径150到200纳米,长度达数微米的硫化铜管组成的薄膜和粒径为150到200纳米的氧化铜纳米/微米晶...
2. 基于坡莫合金的微磁传感器系统在机动车辆流量检测系统中的应用

作者：娄文忠张志广徐祥红郝建伟

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 5-8

摘要：在单车道路段交通系统中利用车辆的磁特性,使用基于微磁传感器的自动检测系统,可以方便、快捷地获取和处理机动车辆的流量和速度信息.本文提出了一种基于微磁传感器的SOP(System on PCB...
3. 用于MEMS真空封装中的纳米吸气剂

作者：孙道恒陈松平

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 9-13

摘要：真空的获得和维持是目前MEMS真空封装技术中存在的主要难题之一.实验利用具有高比表面积和自身储气特性的碳纳米管(CNTs)作为骨架,制备一种能在高真空环境(<10-3 Torr,分子状态)和...
4. 纳米相变存储技术研究进展

作者：刘波宋志棠封松林

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 14-18

摘要：相变存储技术是纳电子器件发展的主流技术之一,利用其电脉冲操作下的纳秒级的可逆相变过程制备的相变存储器(PCRAM),在嵌入式与大容量存储方面有巨大的商用价值与应用前景,已成为国际大公司开发的...
5. 超微细气泡水体修复技术

作者：丁建宁凌智勇陈雨靳明伟

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 19-22

摘要：随着科学技术发展的日新月异,水污染问题越来越严重.如何解决水污染问题已经成为社会关注的焦点.超微细气泡水体修复技术在国际上是属于最前沿科技.本工作对超微细气泡水体修复技术的机理等进行了研究并...
6. 基于AlAs/InGaAs/GaAs共振隧穿效应的纳机电声传感器研制

作者：乔慧仝召民刘俊张斌珍薛晨阳郭慧芳

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 23-27

摘要：本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计.在加工工艺上,采用双空气桥技术...
7. 导线阵列产生的微电磁力操纵磁粒子

作者：席文明洪小雅

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 28-32

摘要：当磁粒子包裹相应的外层物质时,可以与细胞产生选择性黏附,该特性可用于细胞分离、分选、药物运输等.在硅片上制做导线阵列,通过对相应导线阵列的通断电控制,可以控制微磁粒子运动,也就控制了与其相联...
8. PECVD淀积SiO2的应用

作者：何熙吕文龙张春权罗仲梓

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 33-37

摘要：研究了PECVD腔内压力、淀积温度和淀积时间等工艺条件对SiO2薄膜的结构、淀积速率和抗腐蚀性等性能的影响.结果表明,利用剥离工艺,并采用AZ5214E光刻胶作为剥离掩模成功制作了约21μm...
9. 超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型

作者：孙元征林晓辉陈云飞

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 38-42

摘要：在Fokker_P1anck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型.其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实...
10. ZnO基氯气传感元件的制备及其气敏性能

作者：潘钟毅黄世震

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 43-46

摘要：以硝酸锌和氨水为反应物,采用沉淀法制备ZnO纳米粉体.通过X射线衍射仪和透射电镜对其进行分析,结果表明,制得的ZnO颗粒为球形,粒径较小,在20nm左右,为六方形纤锌矿结构.通过掺杂In2O...
11. 两步法制备SnS光电薄膜及其性能

作者：涂信梓程树英

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 47-50

摘要：用两步法在ITO玻璃基片上制备SnS薄膜,即先在ITO玻璃基片上热蒸发一层Sn膜,然后在一定的温度和时间下在真空系统中进行硫化.在优化工艺条件下制备出附着力好的薄膜,通过扫描电子显微镜、X射...
12. 微通道气体流动的格子波尔兹曼模拟

作者：万敏苏伟陈樟

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 51-54

摘要：通过隐式格子波尔兹曼方程,并采用壁面平衡边界条件以及二阶关系,模拟了微通道气体流动中的非线性压力和壁面滑移速度,模拟结果与Arkilic的解析结果十分吻合,验证了格子波尔兹曼方法在滑移流区的...
13. 钛基底上碳纳米管束阵列的制备与电化学性质

作者：于洪涛全燮赵慧敏陈硕

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 55-58

摘要：用热化学气相沉积法在阳极氧化4min的钛片上直接生长了有序碳纳米管束阵列.扫描电镜和透射电镜表征分析证明碳纳米管呈有序束状,管束由缠绕的碳纳米管组成.用半导体参数测试仪测得的电流-电压特性曲...
14. SnO2(110)表面电子结构的第一性原理

作者：张五金王立鼎翁雪军金仁成

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 59-64

摘要：应用第一性原理DFT(密度泛函理论)研究了具有(1×1)和(2×1)对称性的SnO2(110)氧化表面、还原表面和缺陷表面的几何结构与电子结构,重点分析了表面氧空穴(O vacancy)对表...
15. 氮掺杂TiO2纳米管电极制备及可见光电催化活性

作者：于洪涛全燮赵慧敏陈硕鲁娜

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 65-69

摘要：采用氮气中500℃和600℃热处理由阳极氧化法制备的TiO2纳米管阵列,制备了氮掺杂TiO2纳米管阵列电极.分别用环境扫描电镜(ESEM)、X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD)和...
16. 采用3ω法测量多壁纳米碳管悬浮液的导热系数

作者：杨决宽毕可东葛树林陈云飞陈敏华

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 70-74

摘要：为了减小瞬态热线法测量纳米流体导热系数时易受电磁干扰和自然对流等因素的影响,更好地探究新型换热工质的强化传热机理,研制了3ω法实验台,采用锁相放大器测得交流加热铂丝的3倍频电压响应,拟合算出...
17. 纳米尺度液滴的静电喷射实验

作者：孙道恒戴银宏王凌云

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 75-78

摘要：介绍了一种基于高压静电打印技术的工作原理.静电打印头结构是由喷孔结构和电极结构复合而成.施加2.5～3.5kV的脉冲电压驱动液滴产生,所得的液滴直径比传统静电喷射方法更小的液滴,直径为199...
18. 基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模板的制备与性能

作者：刘冲周志涛王海容蒋庄德

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 79-83

摘要：对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要.在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板.首先采用直流磁过...
19. 基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器设计

作者：刘俊张文栋张斌珍李丽华薛晨阳陈尚

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 84-88

摘要：根据介观压阻效应原理以及柱体声学理论,提出了一种基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器,期望利用量子阱薄膜材料的高灵敏度压阻效应以及水听器精巧的微结构,提高矢量水听器的灵敏度,实现水听器的低频特性...
20. MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析

作者：兰之康唐洁影

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 89-92

摘要：多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析...
21. 分子间作用力对硬盘磁头承载力的影响

作者：梁丽王玉娟陈云飞

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 93-97

摘要：当硬盘驱动器的磁头飞高降至5nm以下时,磁头与磁盘间的分子间作用力不能忽略.以皮米磁头和飞米磁头为模型,模拟了分子间作用力对飞高低于5nm的磁头总承载力的影响.模拟结果表明,分子间作用力改变...
22. 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

作者：于震雷刘永顺吴一辉张平张涛

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 98-102

摘要：基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁...
23. MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性

作者：吕劲楠唐洁影

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 103-106

摘要：由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因.本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力一...
24. 用于组装纳米粒子密集排列点阵的嵌段聚合物自组织图案模板的可控制备

作者：丁奎周丰张佳兰杨玲王广厚谢波陈燕萍韩民

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 107-110

摘要：利用溶剂引导的无序-有序相转变的方法制备了形貌可控的自组织嵌段聚合物薄膜,并对影响形貌的条件进行了讨论.通过控制一系列由大变小的溶剂蒸发速率,获得了形貌依次为无序多孔、有序多孔、有序多孔和面...
25. MEMS加工中对准误差的在线提取结构

作者：李伟华钱晓霞

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 111-115

摘要：对准误差是MEMS表面加工工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义.目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长.主要对MEMS表面加工工艺中导电层和非导电层之间...
26. 环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作

作者：张海军朴相镐杜小振褚金奎

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 116-120

摘要：研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用.本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能...
27. 微间隙液体粘性阻力分析

作者：侯利程吴文蕾戚伟俊李科委沈雪瑾

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 121-124

摘要：微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的...
28. PECVD SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能

作者：吕知秋张锦文李婷王颖田大宇金玉丰陈治宇

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 125-128

摘要：本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能.针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出...
29. 焦耳热对芯片电泳分离效率影响的模拟分析和实验

作者：任峰徐溢温志渝胡小国

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 129-133

摘要：采用CoventorWare有限元分析软件对电泳芯片管道内焦耳热效应进行了模拟计算和分析,以牛血清白蛋白和溶菌酶作为样品分析对象,通过考虑芯片不同绝缘层厚度、分离场强、缓冲液浓度条件下分离效...
30. 扶手椅型单壁碳纳米管的扭转和弯曲变形

作者：丁建宁凌智勇坎标程广贵范真

刊名：功能材料与器件学报

发表期刊： 2008年1期

页码: 134-138

摘要：实验提出了一种针对单壁碳纳米管的原子尺度有限元模型.利用该模型对(5,5)型扶手椅型单壁碳纳米管的扭转和弯曲变形过程进行了模拟,发现其屈曲的临界扭转和纯弯曲角度分别约为40°和20°,与扭转...

功能材料与器件学报基本信息

刊名	功能材料与器件学报	主编	邹世昌
曾用名
主办单位	中科院上海微系统与信息技术研究所中国材料研究学会	主管单位	中国科学院
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1007-4252	CN	31-1708/TB
邮编	200050	电子邮箱	jfmd@mail.sim.ac.cn
电话	021-62511070	网址	www.jfmd.cn
地址	上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

该刊被以下数据库收录

1.	化学文摘(美)
2.	日本科学技术振兴机构数据库(日)
3.	中国科技论文统计与引文分析数据库

期刊荣誉

1.	中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
2.	中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
3.	美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊