环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作

• 作者: 张海军 朴相镐 杜小振 褚金奎
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电源 压电悬臂梁 PZT MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.026

摘要

研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用.本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能.首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程.悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)压电薄膜等.经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎		119	1260	20.0	30.0
5	杜小振		9	205	8.0	9.0
9	张海军		4	50	3.0	4.0