压电微悬臂梁探针的制作工艺研究

• 作者: 夏劲松 崔岩 张吕权 王立鼎
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 79-82
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450 μm×70 μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17 N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	130	1877	24.0	38.0
2	崔岩	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	59	332	10.0	16.0
6	夏劲松	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	3	13	3.0	3.0
7	张吕权	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	1	4	1.0	1.0