基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

• 作者: 于震雷 刘永顺 吴一辉 张平 张涛
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微型电磁驱动器 微型泵 集成磁性薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TN406
• 字数: 2141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022

摘要

基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
3	刘永顺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	13	65	4.0	7.0