基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究

• 作者: 倪鹤南 刘晓为 张国威 王喜莲 陈伟平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 扩散口 喷嘴 泵压 无阀微泵
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 生化微系统
• 页码范围: 119-121
• 页数: 3页
• 分类号: TH137.51
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.039

摘要

依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王喜莲		11	42	3.0	6.0
2	刘晓为		42	140	7.0	10.0
3	陈伟平		19	73	5.0	7.0
4	张国威		3	2	1.0	1.0
5	倪鹤南		1	2	1.0	1.0