一种新型无阀微泵的研究

• 作者: 王登伟 苏波
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无阀微泵 微电子机械系统 单晶硅 聚二甲基硅氧烷 扁平振动马达
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 107-111
• 分类号: TP211.3
• 字数: 2605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2011.02.003

摘要

研究了一种适用于微流体系统的新型无阀微泵.以单晶硅片为材料并采用微机电系统(MEMS)技术制备微泵的泵腔以及扩散口和喷口,选用弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用扁平振动马达作为驱动部件,研制出一个尺寸为12 mm×12 mm× 6 mm的无阀微泵.分别对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示:驱动电压对微泵的频率和流量均有显著影响;当驱动电压在1.4～3.0V范围的时候,频率和电压成线性关系;流量随着背压的增加而减小,在零背压下,当电压为1.5 V时,微泵的流量达到最大值158μL/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏波	首都师范大学物理系	16	16	2.0	3.0
2	王登伟	中国科学院微电子研究所	3	3	1.0	1.0