电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作

• 作者: 夏冬梅 庞宣明 李博 陈晓南
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 电致动聚合物 微泵 结构设计
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 页码范围: 92-95
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2009.07.020

摘要

提出了一种由电致动聚合物材料(DE)驱动的平面扩散/收缩管无阂微泵.通过分析扩散/收缩管的角度、长度、最小宽度等关键参数对微泵性能的影响,对无阀微泵的结构进行了设计.基于UV-LIGA工艺,将DE泵膜和SU-8泵体键合制作了无阀微泵的模型,并对DE泵膜结构进行了实验研究,确定了合理的结构形式,实现了微泵的单向泵送.在3 500 V、8 Hz直流正弦电压的作用下,无阀微泵的流量最大,为21.2 μL/min,并且结构简单、易于密封、成本低.实验结果对电致动聚合物微泵进一步的科学研究和实际应用都具有较大的促进作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓南	西安交通大学机械工程学院	19	329	11.0	18.0
2	李博	西安交通大学机械工程学院	28	124	7.0	9.0
3	庞宣明	西安交通大学机械工程学院	11	184	8.0	11.0
4	夏冬梅	西安交通大学机械工程学院	1	8	1.0	1.0