磁力驱动串联式双腔微泵设计及性能测试

• 作者: 徐迎华 李伟 李杰超 肖良平 闫卫平
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 收缩/扩散管无阀微泵 磁力驱动 ANSYS仿真 性能测试分析
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH137.33|TH38
• 字数: 2073字
• 语种: 中文

摘要

针对无阀微泵背压能力较弱等问题,采用MEMS技术制作出不同结构参数的双腔和单腔微泵体,构建了基于电机驱动的磁力式双腔串联无阀微泵测控系统.实验结果表明,泵腔面积相等的情况下,圆形泵腔的微泵流量大于椭圆形泵腔的流量;随着驱动频率的升高,双腔串联微泵的流量呈现高斯分布,并在20 Hz附近处出现流量峰值,微泵的最大流量可达1.5 mL/min,微泵的截止背压为170 mmH2O,双腔串联微泵比单腔微泵的流量增大约80％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	大连理工大学电子科学与技术学院	50	296	9.0	15.0
2	闫卫平	大连理工大学电子科学与技术学院	57	328	9.0	14.0
3	徐迎华	大连理工大学电子科学与技术学院	20	20	3.0	4.0
4	李杰超	大连理工大学电子科学与技术学院	7	28	3.0	5.0
5	肖良平	大连理工大学电子科学与技术学院	2	2	1.0	1.0