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微间隙液体粘性阻力分析
微间隙液体粘性阻力分析
作者:
侯利程
吴文蕾
戚伟俊
李科委
沈雪瑾
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机电系统
微间隙平板
液体粘性阻力
摘要:
微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析.结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合.
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文献信息
篇名
微间隙液体粘性阻力分析
来源期刊
功能材料与器件学报
学科
工学
关键词
微机电系统
微间隙平板
液体粘性阻力
年,卷(期)
2008,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
121-124
页数
4页
分类号
TH703|O441
字数
2398字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.027
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
沈雪瑾
上海大学机械自动化系
50
327
9.0
15.0
2
吴文蕾
上海大学机械自动化系
4
15
3.0
3.0
3
李科委
上海大学机械自动化系
4
45
3.0
4.0
4
侯利程
上海大学机械自动化系
3
6
2.0
2.0
5
戚伟俊
上海大学机械自动化系
2
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1986(1)
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参考文献(1)
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2007(1)
参考文献(1)
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2008(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2016(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
微间隙平板
液体粘性阻力
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
功能材料与器件学报
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所
中国材料研究学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
开本:
大16开
出版地:
上海市长宁路865号
邮发代号:
4-737
创刊时间:
1995
语种:
chi
出版文献量(篇)
1638
总下载数(次)
2
总被引数(次)
10162
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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